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零件加工精度以纳米，甚至之后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，零件切削加工方法已不能适应，需要借助特种零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超过原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超加工的目的。属于这类加工的有用械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
精密机械加工是如何进行工作与如何选择一、精密机械加工件是如何进行工作
(1)粗加工阶段。切除各加工面的大部分加工余量，并精密机械加工件出精基准，主要考虑尽可能大地提高生产率。
(2)半精加工阶段。切除粗加工后可能产生的缺陷，为表面的精加工做准备，要求达到确定的加工精度，保护适当的精加工余量，同时完成次要表面的加工。
(3)精加工阶段。在此阶段采用大的切削速度，小的进给量和切削，切除上道工序所留下的精加工余量，使零件表面达到图样的技术要求。
(4)光整加工阶段。主要用于降低表面粗糙度值或强化加工表面，主要用于表面粗糙度要求很高(ra≤0.32μm)的表面加工。
(5)超精密机械加工件阶段。加工精度在0.1—0.01μm，表面粗糙度值ra≤0.001μm的加工阶段。主要的加工方法有：精密切削、精镜面磨削、精密研磨和抛光等。
二、精密零部件定制中刀具该如何选择
精密零部件定制中刀具选择的总原则是：刀具的刚性好，安装和调整方便，耐用度和精度好。另外为了提高刀具的刚性，刀具伸出长度应尽可能短。在精密零部件定制厂机床上，各种刀具分别装在刀库中，按程序的规定进行加工。
精密零部件定制中刀具种类：精密零部件定制刀具种类较多，应用广的是各种表面及孔加工刀具，其中平面、曲面的加工刀具主要采用各种类型的铣刀、而孔加工刀具根据所加工孔的形状、位置、精度要求等可选择钻头、铰刀、扩孔钻、镗刀等。硬质合金螺旋齿立铣刀主要用于加工铸铁、钢件、有色金属等材质，刀片一般为焊接式。可转位螺旋立铣刀主要用于粗铣大型工件的台阶面，立面及大型槽。数控铣床分为不带刀库和带刀库两大类。能加工轮廓形状特别复杂或难以控制尺寸的五金零件，如模具类零件、壳体类零件等。
精密零部件定制所用的刀具是由通用刀具主轴前端锥孔配套的刀柄等组成，加工中，要依据许多因素来选择，例如机床性能、夹具的刚度、工件材料的性能、切削用量以及其它相关因素。
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